AUTOMATIC SERIOUS
SURFiEW ELITE / PRO / MASTER
3D量測技術利用光的干涉, 具備0.1nm的高度辨識力, 可以在奈米級距做輕鬆快速地量測1nm~10mm的表面形貌。
詳細介紹
相對於接觸式的方式, 白光干涉儀的量測不會對樣品造成絲毫的傷害。
相對於共焦量測方式, 白光干涉儀並不會被透鏡倍率影響, 且具備相同的高度分辨率, 測量準確。
相對於AFM的方式, 白光干涉儀可以更快速測量更寬的維度。