1. 環境特性 (Environmental Properties)

• 操作溫度： +10 °C 至 +35 °C

• 操作壓力： 10^-5 Pa 至 10^5 Pa（可選配 UHV 超高真空版本）

2. 顯微鏡頭主體 (Microscope Head)

• 外觀尺寸： 118 mm × 84 mm × 35.7 – 48.4 mm

• 最大樣品掃描區域： 21 mm × 11 mm × 8 mm

• 重量： 460 g

3. 粗定位系統 (Coarse Positioning)

• 定位特性： 已校準的正交定位 (Calibrated orthogonal positioning)

• 控制模式： 閉迴路控制 (Closed-loop control)

• 移動速度： > 2 mm/s

• 位移行程 (XYZ)： 21 mm × 12 mm × 12 mm

• 最小粗調步進： 1 μm

• 探針保護： 具備隱蔽式探針停駐位置 (Concealed probe docking)

• 位置感測器： 光學式閉迴路位置感測器

4. 掃描單元 (Scanning Unit)

• 開迴路掃描範圍 (XYZ, ±10%)： 100 μm × 100 μm × 20 μm

• 閉迴路掃描範圍 (XYZ)： 80 μm × 80 μm × 16 μm

• 解析度 (XYZ)： 0.2 nm × 0.2 nm × 0.04 nm

• 垂直向雜訊底床值： < 35 pm

• 驅動技術： 基於壓電換能器之掃描單元 (-20 V 至 +130 V)

• 掃描特性： 已校準的正交掃描

• 軸向設定： 各獨立軸均可選擇開迴路或閉迴路模式

• 位移感測： 閉迴路應變規感測器 (Strain gauge sensor)

• 最大樣品承重： 100 g

5. 電氣特性 (Electrical Properties)

• 核心硬體： 開放式硬體核心 - DSP Gwyscope

• 鎖相放大器： 兩組 Lock-ins，頻率範圍 DC 至 2 MHz

• 振幅範圍： ±10 V（具備內部電壓偏移功能）

• 掃描數位類比轉換 (DAC)： 3x 20-bit（用於掃描範圍、偏移）

• 訊號類比數位轉換 (ADC)： 2x 8通道 18-bit（用於訊號採集）

• 訊號分析： 支援同步內外部訊號分析 (±10 V)

• 偏壓控制： 16通道 16-bit DAC（用於內外部偏壓設定）

• 回饋迴路： 輸入通道可用於回饋控制（結合鎖相放大器）

• 訊號調變： 支援訊號調變輸入 (Modulation inputs)

• 監控功能： 訊號輸入/輸出監控

• 系統監測： 5x 8通道 12-bit ADC（用於複雜系統監測與遠端服務）

• 觸發機制： 支援來自 DSP 和 PC 的觸發訊號

• 外部擴充： 支援外部探針激發、偏壓、針尖與探針訊號（可繞過前置放大器）

• 網路連線： 乙太網路（支援交換器選配）或內建 WLAN 連接電腦

• 電源規格： 115 VAC / 230 VAC 操作，功耗 160 W